Силіцид вольфраму
Силіцид вольфраму
Силіцид вольфраму WSi2 використовується як матеріал для удару електричним струмом у мікроелектроніці, шунтування на полікремнієвих проводах, антиокислювальне покриття та покриття опору проводів.Силіцид вольфраму використовується як контактний матеріал у мікроелектроніці з питомим опором 60-80 мкОм см.Утворюється при 1000°C.Зазвичай він використовується як шунт для ліній полікремнію для підвищення його провідності та збільшення швидкості сигналу.Шар силіциду вольфраму може бути отриманий шляхом хімічного осадження з парової фази, наприклад осадження з парової фази.Використовуйте моносилан або дихлорсилан і гексафторид вольфраму як вихідний газ.Осаджена плівка є нестехіометричною і потребує відпалу для перетворення в більш провідну стехіометричну форму.
Силіцид вольфраму може замінити попередню плівку вольфраму.Силіцид вольфраму також використовується як бар'єрний шар між кремнієм та іншими металами.
Силіцид вольфраму також дуже цінний у мікроелектромеханічних системах, серед яких силіцид вольфраму в основному використовується як тонка плівка для виготовлення мікросхем.З цією метою плівка силіциду вольфраму може бути піддана плазмовому травленню, використовуючи, наприклад, силіцид.
| ПУНКТ | Хімічний склад | |||||
| елемент | W | C | P | Fe | S | Si |
| Вміст (мас.%) | 76.22 | 0,01 | 0,001 | 0,12 | 0,004 | Баланс |
Компанія Rich Special Materials спеціалізується на виробництві мішеней для напилення та може виробляти матеріали для напилення силіцидів вольфраму відповідно до специфікацій клієнтів.Для отримання додаткової інформації, будь ласка, зв'яжіться з нами.
