Ми всі знаємо, що існує багато специфікацій мішені для розпилення,який має авідеальний діапазон застосування.TЦільові різновиди, які зазвичай використовуються в різних галузях промисловості, також різні, сьогодні давайте прийдемо з ПекінРіхмат разом, щоб дізнатися про промислову класифікацію цілей для напилення.
一、Визначення матеріалу мішені для розпилення
Напилення є однією з основних технологій отримання тонкоплівкових матеріалів.Він використовує іони, створені джерелом іонів, для формування пучка іонів із високошвидкісною енергією шляхом прискореної агрегації у вакуумі. Бомбардовані тверда поверхня, іони та атоми твердої поверхні обмінюються кінетичною енергією, так що атоми на твердій поверхні залишають тверду речовину та осідають на на поверхні підкладки, бомбардована тверда речовина є вихідним матеріалом для підготовки нанесеної напиленням плівки, відомої як мішень для розпилення.
二、Класифікація сфер застосування матеріалів мішеней для розпилення
1、Напівпровідникова мішень
(1)Поширений матеріал:Загальні цілі в цій галузі включають тантал, мідь, титан, алюміній, золото, нікель та інші метали з високою температурою плавлення.
(2)Використання:В основному використовують у вирішальних вихідних даних інтегральної схеми
(3)Функціональні вимоги:Технічні вимоги до чистоти, розміру, інтеграції високі.
2、Цільовий матеріал для планарного відображення
(1)Поширений матеріал:Мішені, які зазвичай використовуються в цій галузі, включають алюміній/мідь/молібден/нікель/ніобій/кремній/хром тощо.
(2)Використання:Цей тип цільового матеріалу в основному використовується в різних типах фільмів великої площі для телевізорів і ноутбуків.
(3)Функціональні вимоги:Високі вимоги до чистоти, великої площі, однорідності тощо.
3、Мішені для сонячних елементів
(1)Поширений матеріал:Мішені з алюмінію/міді/молібдену/хрому/ITO/Ta зазвичай використовуються в сонячних елементах.
(2)Використання:В основному використовується у «віконному шарі», бар’єрному шарі, електроді та провідній плівці та в інших випадках.
(3)Функціональні вимоги:Висока кваліфікація, широкий спектр використання.
4、Цільовий матеріал для зберігання інформації
(1)Поширений матеріал:Для зберігання інформації зазвичай використовуються цільові матеріали кобальт/нікель/феросплав/хром/телур/селен.
(2)Використання:Цільовий матеріал тут в основному використовується для головного, середнього шару та нижнього шару компакт-дисків і компакт-дисків.
(3) Функціональні вимоги:Потрібна висока щільність зберігання та висока швидкість передачі.
5、Цільовий матеріал для модифікації інструменту
(1)Поширений матеріал:Інструментальна модифікація титанових/цирконієвих/гратчастих/хром-алюмінієвих сплавів та інших мішеней.
(2)Використання:Зазвичай його використовують для покращення зовнішнього вигляду.
(3)Функціональні вимоги:Високі функціональні вимоги, тривалий термін служби.
6、Цільові матеріали для електронних пристроїв
(1)Поширений матеріал:Мішені з алюмінієвого сплаву/силіциду зазвичай використовуються в електронних пристроях
(2)Використання:Зазвичай використовується для плівкових резисторів і конденсаторів.
(3)Функціональні вимоги:Малі розміри, стабільність, низький температурний коефіцієнт опору
Час публікації: 21 квітня 2022 р