Вакуумне покриття під час вибору матеріалів для напилення мішеней є проблемою для людей, в даний час, оскільки покриття напиленням, особливо розвиток навичок магнетронного розпилення покриття, можна сказати, що будь-яка інформація може мати можливість цільової підготовки матеріалів тонких плівок за допомогою іонного бомбардування, оскільки розпилення матеріалу мішені в процесі нанесення покриття на тип підкладки має важливий вплив на якість плівки для напилення, отже, вимоги до матеріалу мішені є більш суворими.Тут ми дізнаємось про роль мішені для напилення у вакуумному покритті разом із редактором Beijing Relaxation
一、Принцип відбору та класифікація цільового матеріалу
При виборі цільового матеріалу, окрім використання самої плівки, слід також враховувати наступні проблеми:
Проблема 1. Згідно з вимогами щодо використання та продуктивності мембрани, необхідно, щоб цільовий матеріал відповідав технічним вимогам до чистоти, вмісту журналу, однорідності компонентів, точності обробки тощо.
Проблема 2. Цільовий матеріал повинен мати хорошу механічну міцність і хімічну стабільність після формування плівки;
Проблема 3. Необхідно, щоб плівковий матеріал легко утворював складову плівку з реакційним газом як плівкою реактивного розпилення;
Проблема 4. Необхідно встановити мішень і матрицю, щоб вони були міцними, інакше слід взяти плівковий матеріал з хорошою адгезією до матриці, спочатку напилити шар нижньої плівки, а потім підготувати необхідний шар плівки;
Питання 5. За умови відповідності вимогам до продуктивності плівки, чим менша різниця між коефіцієнтом теплового розширення мішені та матриці, тим краще, щоб зменшити вплив термічної напруги напилюваної плівки;
Підготовка кількох часто використовуваних мішеней
(1) ціль кр
Хром як плівковий матеріал для напилення не тільки легко поєднується з основним матеріалом, має високу адгезію, а плівка хрому та оксиду CrQ3, її механічні властивості, кислотостійкість та термічна стабільність кращі.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. в основному займається: титановою мішенню, цирконієвою мішенню, алюмінієвою мішенню, нікелевою мішенню, хромовою мішенню, вольфрамовою мішенню, молібденовою мішенню, мідною мішенню, кремнієвою мішенню, ніобієвою мішенню, танталовою мішенню, титано-кремнієвим сплавом мішень, мішень із титано-ніобієвого сплаву, мішень із титано-вольфрамового сплаву, мішень із титано-цирконієвого сплаву, мішень із нікель-хромового сплаву, мішень із кремнеземно-алюмінієвого сплаву, мішень із нікель-ванадієвого сплаву, мішень із потрійного сплаву хрому, алюмінію та кремнію, Ti al si цільовий матеріал із потрійного сплаву, який широко використовується в декораціях/твердих поверхнях і функціональних покриттях, архітектурному склі, плоских дисплеях/оптичних фотоелектриках, оптичних накопичувачах, електроніці, поліграфії та інших професіях.
Час публікації: 02 червня 2022 р