Мета має широкий ринок, область застосування та великий розвиток у майбутньому.Щоб допомогти вам краще зрозуміти цільові функції, нижче інженер RSM коротко представить основні функціональні вимоги до цілі.
Чистота: чистота є одним з основних функціональних показників мішені, тому що чистота мішені має великий вплив на функцію плівки.Однак у практичному застосуванні вимоги до чистоти мішені також відрізняються.Наприклад, із швидким розвитком мікроелектронної промисловості розмір кремнієвої пластини збільшився з 6 "до 8" до 12", а ширина проводки зменшилася з 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм або навіть 0,13 мкм.Раніше 99,995% цільової чистоти могло відповідати вимогам процесу 0,35 мкм, тоді як підготовка ліній 0,18 мкм вимагає 99,999% або навіть 99,9999% цільової чистоти.
Вміст домішок: домішки в цільових твердих речовинах, а також кисень і водяна пара в порах є основними джерелами забруднення нанесених плівок.Мішені для різних цілей мають різні вимоги до різного вмісту домішок.Наприклад, мішені з чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, мають особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.
Щільність: для того, щоб зменшити пори в цільовому твердому тілі та покращити функцію розпилювальної плівки, мішень зазвичай повинна мати високу щільність.Щільність мішені не тільки впливає на швидкість розпилення, але також впливає на електричні та оптичні функції плівки.Чим вища цільова щільність, тим краща функція плівки.Крім того, покращено щільність і міцність мішені, щоб мішень могла краще сприймати термічне навантаження в процесі напилення.Щільність також є одним з ключових функціональних показників мішені.
Час публікації: 20 травня 2022 р