З розвитком промислових технологій якість мішеней, необхідних для промислового виробництва, також стає все вищою і вищою, оскільки якість мішеней безпосередньо впливає на продуктивність плівок магнетронного розпилення.У наш час підприємства, як правило, віддають перевагу використанню мішеней високої щільності з однорідною структурою складу для покриття напиленням під час придбання мішеней, щоб зменшити багаторазове зшивання мішеней і покращити якість покриттів напиленням. Тому це вимагає від виробника мішені суворої відповідності контролювати якість мети. Тепер нехай редактор ПекінаРіхматдопоможе вам зрозуміти, які фактори впливають на якість цілі.
1、Вплив параметрів процесу на якість мішені
Параметри процесу в основному включають тиск холодного пресування, швидкість герметизації та швидкість виймання та інші параметри.Коли мішень холодно пресована, тиск безпосередньо впливатиме на якість бланка мішені;Швидкість тиску має великий вплив на розшарування цільової заготовки, і початковий стан, коли порошок рівномірно заповнений негативною формою, є слабким станом, який має багато пор і газів, а вихід газів займає період час.
2、TheВплив цвілі на якість цілі
Форма також має певний вплив на формування заготовки мішені.Основні чинники впливу включають обробку поверхні внутрішньої сторони прес-форми, зазор між пуансоном і порожниною форми тощо. Якщо зазор занадто великий, відбудеться розтікання порошку та витік порошку, що призведе до граничної щільності низький рівень заготовки та проблеми з якістю, такі як падіння краю під час виймання з форми.
3、Вплив вологості матеріалу на якість мішені
Волога, що міститься в порошку цільового матеріалу, еквівалентна ефекту мастила, і її присутність може зменшити тертя між частинками, що сприяє ефективній передачі тиску холодного пресування, а також сприяє плавному ковзанню та перегрупування між частинками порошку.Однак, коли вміст води занадто малий або занадто великий, це вплине на якість мішені.
Коли вміст води в порошку ITO становить менше 2%, ймовірність проблем з якістю, таких як втрата краю та розшарування цільового матеріалу, буде значно збільшена, якщо інші умови, такі як тиск холодного пресування та вміст зв’язуючого, однакові. Коли вода Вміст порошку ITO становить більше 10%, за однакового тиску холодного пресування, вмісту сполучної та інших умов, хоча частинки порошку ковзають і перегруповуються легше, вода виділяється зсередини форми, що спричинить проблему падіння кромки навколо заготовки цільового матеріалу.Результати показують, що коли вміст води в порошку становить від 3% до 6%, якість заготовки ефективно контролюється.
4、Вплив вмісту сполучного на якість мішені
Кількість введеного сполучного має великий вплив на якість цільового матеріалу.Коли кількість вкраплення становить менше 1%, цільова заготовка матиме дуже серйозні проблеми з якістю, у цей час ефект сполучного не проявляється, і це мало впливає на підвищення міцності цільової заготовки. збільшення вмісту сполучного до 2% і 3%, підвищується міцність цільового матеріалу, і проблема якості цільового матеріалу значно зменшується.Однак, коли сполучна речовина міститься до 4%, хоча проблема якості холоднопресованої заготовки цільового матеріалу зникає, цільовий матеріал час від часу розшаровується під час подальшого процесу виймання з форми.
Час публікації: 22 квітня 2022 р