У сучасних будівлях почали використовувати великі площі скляного освітлення.Цей аспект дає нам світліші кімнати та ширші горизонти.З іншого боку, тепло, що передається через скло, набагато вище, ніж через оточуючі стіни, і споживання енергії всією будівлею значно збільшується..
Порівняно з рівнем використання більше ніж 90% скла з низьким випромінюванням у розвинених країнах, рівень проникнення скла з низьким рівнем випромінювання в Китаї становить лише близько 12%, і Китай все ще має багато простору для розвитку. Однак порівняно з звичайне скло та онлайн-скло з низьким рівнем емісії, вартість виробництва офлайн-скла LowE висока, що обмежує застосування певної міри. Вітчизняні підприємства з обробки скла зобов’язані постійно знижувати собівартість виробництва покриттів, прискорювати впровадження, економити енергію, покращувати навколишнє середовище та досягати соціального сталого розвитку.
1、Вплив форми мішені
Великі площі покриття часто використовують цільовий матеріал відповідно до форми, включаючи планарну орієнтацію та орієнтацію обертання.Загальні планарні мішені включають мідну мішень, срібну мішень,Ni-Cr мішень і графітова мішень.Загальна обертова мішень має цинкову алюмінієву мішень, цинково-олов’яну мішень, кремнієву алюмінієву мішень, олов’яну мішень, мішень з оксиду титану, мішень з оксиду цинку і алюмінію тощо. Цільова форма впливатиме на стабільність і властивості плівки магнетронного напилювального покриття та використання цільовий показник дуже високий.Після зміни форми планування цілі можна покращити якість і виробничу потужність покриття та заощадити вартість.
2、Вплив відносної щільності та кліренсу цілі
Відносна щільність у мішені - це відношення практичної щільності до теоретичної щільності мішені, теоретична щільність однокомпонентної мішені - це щільність кристала, а теоретична щільність сплаву або суміші мішені розраховується відповідно до теоретичної щільність кожного елемента та частка в сплаві чи суміші..Мішень термічного розпилювача пориста, з високим вмістом кисню (навіть із вакуумним розпиленням утворення оксидів і азотистих сполук у сплавній мішені неминуче), зовнішній вигляд сірий і без металевого блиску.Основними джерелами забруднення є адсорбовані домішки та волога.
3、Вплив цільового розміру частинок і напрямку кристала
При однаковій вазі мішені мішень з малим розміром частинок швидше, ніж мішень з великим розміром частинок.Це пов’язано насамперед з тим, що в процесі розбризкування легко вторгнутися на межу частинок, чим більше межа частинок, тим швидше утворюється плівка.Розмір частинок не тільки впливає на швидкість розпилення, але також впливає на якість формування плівки. Наприклад, у процесі виробництва продуктів EowE NCr діє як шар підтримки інфрачервоного відбиваючого шару Ag, і його якість має великий вплив на продукти покриття.Через великий коефіцієнт екстинкції плівкового шару NiCr він, як правило, тонкий (близько 3 нм). Якщо розмір частинок занадто великий, час напилення стає коротшим, ущільнення шару плівки погіршується, ефект підтримки шару Ag зменшується, і відбувається окислювальне зняття покриття з продуктів покриття.
висновок
Планування форми цільового матеріалу головним чином впливає на коефіцієнт використання цільового матеріалу.Розумне планування розміру може підвищити коефіцієнт використання цільового матеріалу та заощадити кошти. Чим менший розмір частинок, тим швидше швидкість покриття, тим краща однорідність.Чим вища чистота та щільність, тим менша пористість, тим краща якість плівки та менша ймовірність зменшення шлаку на виході.
Час публікації: 27 квітня 2022 р