Мішень із титанового сплаву, що розпилюється, і металевий титан складаються з титану, тому інформація приблизно однакова, але різниця між ними в основному полягає в тому, що мішень із титанового сплаву, що розпилюється, виготовлена з металевого титану кількома способами, а титан зустрічається в природі як титанова руда. Мішені з титанового сплаву можна широко використовувати в багатьох професійних категоріях. Тепер автор Beijing richmat узагальнив кілька поширених мішеней із титанового сплаву з точки зору використання ситуації, щоб дати нам детальний вступ.
一、Ti мішені для інтегральних схем
Вимоги до напилення мішеней із титанового сплаву відрізняються між неінтегральними та інтегральними схемами.Загалом до інтегральних схем пред’являються вищі вимоги до даних покриття, наприклад, вища чистота, менший розмір зерен і точніша точність масштабу. Чистота титанових мішеней в інтегральних схемах перевищує 99,995%, що вище, ніж у неінтегрованих. ланцюгів, що вказує на те, що вимоги до титанової мішені для різних застосувань дуже різні.
二、Ti ціль для плоскопанельного дисплея
Мішені з титанового сплаву, які використовуються в плоскопанельних дисплеях, включають рідкокристалічний дисплей, плазмовий дисплей, електролюмінесцентний дисплей і дисплей з польовою емісією. Тонка плівка плоского дисплея формується методом напилення, Al, Cu, Ti і Mo є основними металевими мішенями для напилення для плоских панелей. дисплеї. Чистота мішеней із титанового сплаву для плоских дисплеїв зазвичай перевищує 99,9%.
三、Ti мішені для декоративних матеріалів
Цільовий матеріал із титанового сплаву високої чистоти має чудову стійкість до корозії на повітрі, тривале використання на повітрі не змінює колір, щоб забезпечити оригінальний колір титану та контакт з людиною, щоб не викликати алергію та інші чудові характеристики.Таким чином, титан високої чистоти також можна використовувати як декоративні матеріали, в останні роки, такі як браслети, годинники та окуляри та інші прикраси з чистотою титану досягли рівня 5N.
四、Ti мішені для систем надвисокого вакууму
Як хімічно активний метал, титан може реагувати з багатьма елементами та сполуками при високій температурі.Мішень із титанового сплаву високої чистоти має сильну адсорбційну здатність для активних газів (таких як O2, N2, CO, CO2, водяна пара вище 650 °C), а плівка Ti, що випаровується на стінці насоса, може утворювати поверхню з високою адсорбційною здатністю. .Ця властивість робить Ti широко використовуваним як геттер у системах екстракції газу в надвисокому вакуумі. Якщо його використовувати для вдосконалення насоса, іонного насоса для розпилення тощо, він може знизити кінцевий робочий тиск іонного насоса для розпилення до 10-9Па.
Час публікації: 25 квітня 2022 р