Типи мішеней магнетронного розпилення

Чи зрозуміло вам мішені з магнетронним напиленням?Тепер давайте поділимося з вами трохи здорового глузду щодо мішені магнетронного розпилення.

Металева напилювальна мішень, сплавна напилювальна мішень, керамічна керамічна мішень, боридна керамічна мішень, карбідна керамічна мішень, фторидна керамічна мішень, нітридна керамічна мішень, оксидна керамічна мішень, селенідна керамічна мішень, силіцидна керамічна мішень, сульфід керамічна мішень для напилення, керамічна мішень для напилення з телуриду, інші керамічні мішені, керамічна мішень з оксиду кремнію, легована хромом (CR SiO), мішень з фосфіду індію (INP), мішень з арсеніду свинцю (pbas), мішень з арсеніду індію (InAs).

Цільові конструкції високої чистоти та високої щільності включають:

Мішень для розпилення (чистота: 99,9% – 99,999%)

1. Металева мішень:

Нікелева мішень, Ni, титанова мішень, Ti, цинкова мішень, Zn, хромова мішень, Cr, магнієва мішень, Mg, ніобієва мішень, Nb, олов’яна мішень, Sn, алюмінієва мішень, Al, індієва мішень, in, залізна мішень, Fe, цирконій алюмінієва мішень, zral, титан алюмінієва мішень, TiAl, цирконієва мішень, Zr, алюмінієва кремнієва мішень, AlSi, кремнієва мішень, Si, мідна мішень, Cu, танталова мішень, t, a, германієва мішень, Ge, срібна мішень, Ag, кобальтова мішень, Co, золота мішень, Au, гадолінієва мішень, Gd, лантанова мішень, La, ітрієва мішень, y, церієва мішень, CE, вольфрамова мішень, W, нержавіюча сталь, нікель-хромова мішень NiCr, гафнієва мішень, HF, молібден мішень, Mo, залізо-нікелева мішень, FeNi, вольфрамова мішень, W тощо.

2. Керамічна мішень

Мішень ITO, мішень оксиду магнію, мішень оксиду заліза, мішень нітриду кремнію, мішень карбіду кремнію, мішень нітриду титану, мішень оксиду хрому, мішень оксиду цинку, мішень сульфіду цинку, мішень діоксиду кремнію, мішень оксиду кремнію, мішень оксиду церію, мішень діоксиду цирконію , мішень із п’ятиокису ніобію, мішень із діоксиду титану, мішень з діоксиду цирконію, мішень із діоксиду гафнію, мішень з дибориду титану, мішень з дибориду цирконію, мішень із триоксиду вольфраму, мішень з триоксиду алюмінію, мішень із п’ятиоксиду танталу, мішень із п’ятиоксиду ніобію, мішень із фториду магнію, мішень із фториду ітрію, селенід цинку мішень, мішень з нітриду алюмінію, мішень з нітриду кремнію, мішень з нітриду бору, мішень з нітриду титану, мішень з карбіду кремнію, мішень з ніобату літію, мішень з титанату празеодиму, мішень з титанату барію, мішень з титанату лантану, мішень з оксиду нікелю, мішень для напилення тощо.