Зі збільшенням ринкового попиту постійно оновлюється все більше типів мішеней для розпилення.Деякі знайомі, а інші незнайомі клієнтам.Тепер ми хотіли б поділитися з вами типами мішеней для магнетронного розпилення.
Мішені для розпилення мають наступні типи: мішені для напилення з металу, мішені для напилення зі сплаву, мішені для напилення з керамічного покриття, мішені для напилення з боридної кераміки, мішені для напилення з карбідної кераміки, мішені для напилення з фторидної кераміки, мішені для напилення з нітриду, кераміки з оксиду, мішені для напилення з селеніду. , силіцидна керамічна мішень для напилення, сульфідна керамічна мішень для напилення, телуридна керамічна мішень для напилення, інші керамічні мішені, керамічна мішень з легованого хромом оксиду кремнію (CR SiO), мішень із фосфіду індію (INP), мішень із арсеніду свинцю (pbas), мішень із арсеніду індія (InAs) ).
Магнетронне розпилення зазвичай поділяється на два типи: розпилення постійного струму та радіочастотне розпилення.Принцип роботи обладнання для напилення постійного струму простий, і його швидкість також висока під час напилення металу.Широко використовується радіочастотне напилення.Крім розпилення електропровідних даних, він також може розпилювати непровідні дані.У той же час мішень для розпилення також виконує реактивне розпилення для отримання складових даних, таких як оксиди, нітриди та карбіди.Якщо радіочастота збільшується, це стане мікрохвильовим плазмовим розпиленням.В даний час широко використовується мікрохвильове плазмове розпилення електронного циклотронного резонансу (ECR).
Час публікації: 18 травня 2022 р