Ціль має багато функцій і широке застосування в багатьох сферах.Нове обладнання для розпилення майже використовує потужні магніти для обертання електронів по спіралі для прискорення іонізації аргону навколо мішені, що збільшує ймовірність зіткнення між мішенню та іонами аргону,
Збільште швидкість розпилення.Як правило, напилення постійним струмом використовується для металевого покриття, тоді як напилення радіочастотного зв’язку використовується для непровідних керамічних магнітних матеріалів.Основний принцип полягає в тому, щоб використовувати тліючий розряд для попадання іонів аргону (AR) на поверхню мішені у вакуумі, і катіони в плазмі прискоряться, щоб кинутися до поверхні негативного електрода, як розбризкуваний матеріал.Цей удар призведе до того, що матеріал мішені вилетить і осідає на підкладці, утворюючи плівку.
Взагалі, існує кілька особливостей плівкового покриття за допомогою процесу напилення:
(1) Метал, сплав або ізолятор можуть бути виготовлені у тонкоплівкові дані.
(2) За відповідних умов налаштування плівку з однаковим складом можна виготовити з кількох невпорядкованих мішеней.
(3) Суміш або з’єднання цільового матеріалу та молекул газу може бути отримано шляхом додавання кисню або інших активних газів у розрядну атмосферу.
(4) Цільовий вхідний струм і час напилення можна контролювати, і легко отримати високоточну товщину плівки.
(5) Це вигідно для виробництва інших фільмів.
(6) На розпилені частинки майже не впливає сила тяжіння, і мішень і підкладка можуть вільно організовуватися.
Час публікації: 24 травня 2022 р