Багато користувачів не розглядають покупку мішеней з професійної точки зору, так на що слід звернути увагу при покупці мішеней?Давайте попросимо Сяобяна з Пекіна Руічі вказати на питання, на які потрібно звернути увагу під час придбання мішеней.
По-перше, для мішені чистота є одним із основних функціональних показників, і чистота мішені має великий вплив на функцію плівки продукту, що з’являється пізніше.Кожен продукт також має різні вимоги до чистоти мішені.
По-друге, вміст домішок окремих елементів у мішені.Після серії обробки мішені домішки в твердому тілі мішені, а також кисень і водяна пара в порах є основними джерелами забруднення нанесених плівок.Через різне використання мішеней вимоги до різного вмісту домішок у мішенях з різними використаннями також відрізняються.Наприклад, до мішеней із чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, що використовуються в напівпровідниковій промисловості, тепер висуваються особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.
Щільність також є одним із важливих показників ефективності мішені. У технічному процесі мішені, щоб зменшити пори в твердому тілі мішені та покращити функцію напиленої плівки, мішень, як правило, повинна мати високу щільність.Основна характерна щільність мішені має великий вплив на швидкість розпилення та впливає на електричні та оптичні функції плівки.Чим вища цільова щільність, тим краща функція плівки.
Нарешті, розмір зерна та розподіл зерна.Зазвичай цільовий матеріал є полікристалічним, а розмір зерна може коливатися від мікрона до міліметра.Для тієї самої мішені швидкість розпилення мішені з дрібним зерном є вищою, ніж швидкість розпилення мішені з грубим зерном;Товщина плівок, нанесених цільовим напиленням з невеликою різницею розмірів зерен (рівномірне розсіювання), є більш рівномірною.
Час публікації: 10 червня 2022 р