Широке застосування цільового матеріалу в різних професіях робить попит на цільовий матеріал все більш високим.Наступне Ми будемо коротко представити ви які основні функціональні вимоги до цілі, hopінж щоб допомогти вам.
Чистота: чистота є одним із основних функціональних показників мішені, оскільки чистота мішені має великий вплив на функцію плівки.Але на практиці чистота цільового матеріалу неоднакова.Наприклад, із швидким зростанням професії мікроелектроніки розмір кремнієвої пластини збільшився з 6 дюймів, 8 дюймів до 12 дюймів, а ширина дроту зменшилася з 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм і навіть 0,13 мкм.Як тільки 99,995% цільової чистоти може відповідати технологічним вимогам 0,35UMIC.Підготовка лінії 0,18 мкм вимагає 99,999% або навіть 99,9999% чистоти цільового матеріалу.
Щільність: щоб зменшити пористість твердої речовини мішені та покращити функцію напилювальної плівки, мішень зазвичай повинна мати високу щільність.Щільність мішені впливає не тільки на швидкість розпилення, але й на електричні та оптичні властивості плівок.Чим вища щільність мішені, тим краща функція плівки. Крім того, щільність і міцність матеріалу мішені було збільшено, щоб зробити його здатнішим протистояти термічним навантаженням під час напилення.Щільність також є одним із важливих функціональних показників цільових речовин.
Вміст домішок: домішки в цільовій твердій речовині та кисень і водяна пара в порах є основними джерелами забруднення накопичених плівок. Різні цільові матеріали для різних цілей мають різні вимоги до різного вмісту домішок.Наприклад, мішені з чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, мають особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.
Час публікації: 6 червня 2022 р