Цільові матеріали з напиленням пред’являють високі вимоги під час використання не лише щодо чистоти та розміру частинок, але й щодо однорідного розміру частинок.Ці високі вимоги змушують нас приділяти більше уваги використанню матеріалів для напилення мішеней.
1. Підготовка до розпилення
Дуже важливо підтримувати чистоту вакуумної камери, особливо системи розпилення.Мастила, пил і будь-які залишки попередніх покриттів можуть накопичувати забруднюючі речовини, такі як вода, безпосередньо впливаючи на вакуум і збільшуючи ймовірність руйнування плівки.Короткі замикання, дугоподібні вибухи мішеней, шорсткі плівкоутворюючі поверхні та надмірні хімічні домішки зазвичай спричинені нечистими камерами розпилення, гарматами та мішенями.
Для збереження композиційних характеристик покриття газ, що розпилюється (аргон або кисень), повинен бути чистим і сухим.Після встановлення підкладки в камеру розпилення необхідно витягнути повітря, щоб досягти необхідного рівня вакууму для процесу.
2. Цільове очищення
Метою очищення мішені є видалення будь-якого пилу чи бруду, які можуть бути на поверхні мішені.
3. Цільова установка
Найважливіше, на що слід звернути увагу під час встановлення матеріалу мішені, це забезпечити хороший тепловий зв’язок між матеріалом мішені та охолоджувальною стінкою пістолета-розпилювача.Якщо охолоджувальна стінка або задня пластина сильно деформовані, це може спричинити розтріскування або згинання під час встановлення цільового матеріалу.Передача тепла від задньої мішені до матеріалу мішені буде сильно вплинута, що призведе до неможливості розсіювання тепла під час напилення, що в кінцевому підсумку призведе до розтріскування або відхилення матеріалу мішені.
4. Перевірка короткого замикання та ущільнення
Після установки матеріалу мішені необхідно перевірити замикання і герметичність всього катода.Для визначення короткого замикання катода рекомендується використовувати омметр і мегомметр.Після підтвердження того, що на катоді немає короткого замикання, можна провести виявлення витоку, впорснувши воду в катод, щоб визначити, чи є витік.
5. Попереднє напилення матеріалу мішені
Рекомендується використовувати чистий газ аргон для попереднього розпилення матеріалу мішені, який може очистити поверхню матеріалу мішені.Рекомендується повільно збільшувати потужність розпилення під час процесу попереднього розпилення цільового матеріалу.Потужність матеріалу керамічної мішені
Час публікації: 19 жовтня 2023 р