Ніобієві цільові матеріали в основному використовуються в оптичних покриттях, покриттях поверхневих інженерних матеріалів і таких галузях покриття, як термостійкість, стійкість до корозії та висока провідність.У сфері оптичного покриття воно в основному застосовується в офтальмологічних оптичних виробах, лінзах, прецизійній оптиці, покритті великої площі, 3D-покритті та інших аспектах.
Матеріал ніобієвої мішені зазвичай називають голою мішенню.Його спочатку приварюють до мідної задньої мішені, а потім розпилюють, щоб осадити атоми ніобію у формі оксидів на матеріалі підкладки, досягаючи покриття напиленням.З безперервним поглибленням і розширенням технології та застосування ніобієвої мішені вимоги до однорідності мікроструктури ніобієвої мішені зросли, що в основному проявляється в трьох аспектах: уточнення розміру зерна, відсутність очевидної орієнтації текстури та покращена хімічна чистота.
Рівномірний розподіл мікроструктури та властивостей по мішені має вирішальне значення для забезпечення ефективності розпилення ніобієвих мішеней.Поверхня ніобієвих мішеней, які зустрічаються в промисловому виробництві, зазвичай має регулярні візерунки, які значною мірою впливають на ефективність розпилення мішеней.Як ми можемо покращити рівень використання цілей?
Завдяки дослідженням було виявлено, що вміст домішок (цільова чистота) є важливим фактором, що впливає на чистоту.Хімічний склад сировини нерівномірний, збагачений домішками.Після подальшої обробки прокаткою на поверхні матеріалу ніобієвої мішені утворюються регулярні візерунки;Усунення нерівномірного розподілу компонентів сировини і збагачення домішками дозволяє уникнути утворення регулярних візерунків на поверхні ніобієвих мішеней.Вплив розміру зерен і структурного складу на цільовий матеріал може бути майже незначним.
Час публікації: 19 червня 2023 р