Цільовий матеріал, який використовується в індустрії зберігання даних, вимагає високої чистоти, а домішки та пори повинні бути зведені до мінімуму, щоб уникнути утворення частинок домішок під час напилення.Цільовий матеріал, який використовується для високоякісних продуктів, вимагає, щоб розмір його кристалічних частинок був малим і однорідним і не мав кристалічної орієнтації.Нижче розглянемо вимоги індустрії оптичних накопичувачів до цільового матеріалу?
1. Чистота
У практичних застосуваннях чистота цільових матеріалів змінюється залежно від різних галузей промисловості та вимог.Однак, загалом, чим вища чистота матеріалу мішені, тим краща продуктивність напиленої плівки.Наприклад, у промисловості оптичних накопичувачів чистота цільового матеріалу повинна бути вище 3N5 або 4N
2. Вміст домішок
Матеріал мішені служить джерелом катода при напиленні, а домішки в твердому тілі, а також кисень і водяна пара в порах є основними джерелами забруднення для осадження тонких плівок.Крім того, існують особливі вимоги до мішеней різного призначення.Візьмемо, наприклад, галузь оптичних накопичувачів, щоб забезпечити якість покриття, вміст домішок у мішенях для розпилення має бути дуже низьким.
3. Зернистість і гранулометричний склад
Зазвичай матеріал мішені має полікристалічну структуру з розміром зерен від мікрометрів до міліметрів.Для мішеней з однаковим складом швидкість розпилення дрібнозернистих мішеней є вищою, ніж крупнозернистих мішеней.Для мішеней з меншою різницею розміру зерна товщина нанесеної плівки також буде більш рівномірною.
4. Компактність
Щоб зменшити пористість у твердому матеріалі мішені та покращити характеристики плівки, зазвичай потрібно, щоб матеріал мішені для розпилення мав високу щільність.Щільність цільового матеріалу в основному залежить від процесу підготовки.Цільовий матеріал, виготовлений методом плавлення та лиття, може гарантувати, що всередині цільового матеріалу немає пор, а щільність дуже висока.
Час публікації: 18 липня 2023 р