У багатьох друзів щодо обслуговування мішені є більше чи менше запитань, останнім часом також багато клієнтів консультуються щодо проблем, пов’язаних з обслуговуванням мішені, дозвольте редактору RSM поділитися знаннями щодо обслуговування мішені напиленням.
Як слід обслуговувати розпилювальні мішені?
1、 Цільове обслуговування
Щоб уникнути короткого замикання та утворення дуги, спричиненого нечистою порожниною в процесі розпилення, необхідно періодично видаляти розпилення, накопичене в середині та з обох боків доріжки розпилення, що також допомагає користувачам безперервно розпилювати з високою щільністю потужності.
2、 Цільове сховище
Ми рекомендуємо користувачам зберігати мішень (металеву чи керамічну) у вакуумній упаковці, особливо відповідну мішень потрібно зберігати у вакуумі, щоб запобігти окисленню відповідного шару, яке вплине на якість підгонки.Що стосується упаковки металевих мішеней, ми пропонуємо упаковувати їх як мінімум у чисті поліетиленові пакети.
3、 Очищення цілей
Першим кроком є очищення безворсовою м’якою тканиною, змоченою в ацетоні;
Другий крок аналогічний першому, очищення спиртом;
Крок 3: очистіть деіонізованою водою.Після очищення деіонізованою водою мішень поміщають у піч і сушать при 100 ℃ протягом 30 хвилин.Рекомендується використовувати «безворсову тканину» для очищення оксидних і керамічних мішеней.
Четвертий крок полягає в промиванні мішені аргоном під високим тиском і низькою вологістю, щоб видалити будь-які забруднені частинки, які можуть спричинити дугу в системі розпилення.
4、 Коротке замикання та перевірка герметичності
Після встановлення мішені необхідно перевірити весь катод на коротке замикання та герметичність.Про наявність короткого замикання в катоді рекомендується судити за допомогою вимірювача опору та мегомметра.Після підтвердження відсутності короткого замикання в катоді можна провести перевірку витоку води та ввести воду в катод, щоб визначити, чи є витік води.
5、 Упаковка та транспортування
Усі мішені упаковані у вакуумні поліетиленові пакети з вологозахисним засобом.Зовнішня упаковка, як правило, є дерев’яною коробкою з шаром проти зіткнення навколо, щоб захистити ціль і задню панель від пошкоджень під час транспортування та зберігання.
Час публікації: 15 липня 2022 р