Основні властивості матеріалу мішені для розпилення

Зараз ми повинні бути добре знайомі з мішенню, тепер цільовий ринок також зростає, нижче наведено основні характеристики мішені для напилення, якими поділився редактор із RSM

　　Чистота

Чистота матеріалу мішені є одним з основних показників ефективності, оскільки чистота матеріалу мішені має великий вплив на продуктивність тонкої плівки.Однак у практичному застосуванні вимоги до чистоти цільових матеріалів неоднакові.Наприклад, із швидким розвитком індустрії мікроелектроніки розмір кремнієвих чіпів збільшився з 6 дюймів, 8 дюймів до 12 дюймів, а ширину проводки зменшили з 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм або навіть 0,13 мкм.Раніше чистота цільового матеріалу 99,995% могла відповідати вимогам процесу 0,35 мкмІК.Чистота цільового матеріалу становить 99,999% або навіть 99,9999% для підготовки ліній 0,18 мкм.

　　Вміст домішок

Основними джерелами забруднення осадження плівки є домішки в цільовій твердій речовині, а також кисень і водяна пара в порах.Цільові матеріали для різних цілей мають різні вимоги до різного вмісту домішок.Наприклад, мішені з чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, мають особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.

　　Щільність

Щоб зменшити пористість у твердому тілі мішені та покращити характеристики плівки, що напилюється, зазвичай потрібна висока щільність мішені.Щільність мішені впливає не тільки на швидкість розпилення, а й на електричні та оптичні властивості плівки.Чим вища цільова щільність, тим краща продуктивність плівки.Крім того, збільшення щільності та міцності мішені робить мішень краще протистояти тепловим навантаженням у процесі напилення.Щільність також є одним із ключових показників ефективності target.

　　Розмір зерна та гранулометричний склад

Мішень зазвичай полікристалічна з розміром зерен від мікрометра до міліметра.Для тієї самої мішені швидкість розпилення мішені з дрібними зернами є вищою, ніж швидкість розпилення мішені з великими зернами.Розподіл товщини плівок, нанесених мішенню розпилення з меншою різницею розмірів зерен (рівномірний розподіл), більш рівномірний.