Напилені молібденові мішені широко використовуються в електронній промисловості, сонячних елементах, скляних покриттях та інших галузях завдяки їхнім властивим перевагам.Зі швидким розвитком сучасних технологій мініатюризації, інтеграції, оцифровки та інтелекту використання молібденових мішеней буде продовжувати збільшуватися, а вимоги до їх якості також ставатимуть все більш високими.Тому нам потрібно знайти способи покращити рівень використання молібденових мішеней.Тепер редактор RSM представить кілька методів підвищення коефіцієнта використання молібденових мішеней для розпилення для всіх
1. Додайте електромагнітну котушку на зворотному боці
Щоб підвищити рівень використання молібденової мішені з розпиленням, можна додати електромагнітну котушку на зворотному боці планарної молібденової мішені для розпилення магнетрону, а магнітне поле на поверхні молібденової мішені можна збільшити шляхом збільшення струму електромагнітну котушку, щоб покращити коефіцієнт використання молібденової мішені.
2. Виберіть матеріал трубчастої обертової мішені
Порівняно з плоскими мішенями, вибір трубчастої обертової конструкції мішені підкреслює її істотні переваги.Як правило, рівень використання плоских мішеней становить лише 30% до 50%, тоді як коефіцієнт використання трубчастих обертових мішеней може досягати понад 80%.Крім того, у разі використання мішені для магнетронного розпилення з порожнистою трубкою, що обертається, оскільки мішень може постійно обертатися навколо вузла фіксованого стрижневого магніту, на її поверхні не буде повторного осадження, тому термін служби мішені, що обертається, зазвичай більш ніж у 5 разів довший. ніж у плоскої цілі.
3. Замініть на нове обладнання для напилення
Запорукою підвищення коефіцієнта використання матеріалів мішеней є повна заміна обладнання для напилення.Під час процесу напилення молібденового напилювального матеріалу мішені приблизно одна шоста частина розпилюваних атомів осідає на стінці або кронштейні вакуумної камери після удару іонами водню, що збільшує вартість очищення вакуумного обладнання та час простою.Таким чином, заміна нового обладнання для розпилення також може допомогти підвищити рівень використання молібденових мішеней для розпилення.
Час публікації: 24 травня 2023 р