Відмінності між технологією напилення та мішенню для напилення та їх застосування

Всі ми знаємо, що напилення є однією з основних технологій виготовлення плівкових матеріалів.Він використовує іони, вироблені джерелом іонів, для прискорення агрегації у вакуумі для формування високошвидкісного пучка іонів, бомбардування твердої поверхні, і іони обмінюються кінетичною енергією з атомами на твердій поверхні, так що атоми на твердій поверхні поверхні залишають тверду речовину та осаджують на поверхні підкладки.Бомбардована тверда речовина є сировиною для осадження плівки шляхом напилення, яке називається мішенню для напилення.

Різні типи напилених плівкових матеріалів широко використовуються в напівпровідникових інтегральних схемах, носіях запису, планарних дисплеях, покриттях поверхонь інструментів і матриць тощо.

Мішені для розпилення в основному використовуються в електронній та інформаційній галузях, таких як інтегральні схеми, накопичувачі інформації, рідкокристалічні дисплеї, лазерна пам’ять, електронне контрольне обладнання тощо;Він також може бути використаний у сфері покриття скла;Його також можна використовувати у зносостійких матеріалах, стійких до високотемпературної корозії, високоякісних декоративних виробах та інших галузях промисловості.

Існує багато видів мішеней для розпилення, і існують різні методи класифікації мішеней:

За складом його можна розділити на металеву мішень, мішень із сплаву та керамічну мішень.

За формою її можна розділити на довгу мішень, квадратну та круглу мішень.

Його можна розділити на мікроелектронну мішень, мішень для магнітного запису, мішень для оптичного диска, мішень з дорогоцінних металів, мішень для стійкості плівки, мішень для провідної плівки, мішень для модифікації поверхні, мішень для маски, мішень для декоративного шару, мішень для електродів та інші цілі відповідно до сфери застосування.

Відповідно до різних застосувань його можна розділити на керамічні мішені, пов’язані з напівпровідниками, керамічні мішені із середнім записом, керамічні мішені для відображення, надпровідні керамічні мішені та гігантські керамічні мішені з магніторезистентністю.