Класифікація та застосування мішеней магнетронного розпилення

　　1. Метод магнетронного розпилення:

Магнетронне розпилення можна розділити на розпилення постійного струму, середньочастотне розпилення та радіочастотне розпилення.

A. Джерело живлення розпилення постійного струму дешеве, а щільність нанесеної плівки низька.Як правило, побутові фототермічні та тонкоплівкові батареї використовуються з низькою енергією, а мішенню для розпилення є провідна металева мішень.

B. Енергія радіочастотного розпилення є високою, а об’єкт розпилення може бути непровідною або провідною.

C. Середньочастотна мішень для напилення може бути керамічною або металевою.

　　2. Класифікація та застосування мішеней для розпилення

Існує багато видів мішеней для розпилення, і методи класифікації мішеней також різні.За формою вони поділяються на довгі, квадратні та круглі;За складом його можна розділити на металеву мішень, мішень із сплаву та керамічну мішень;Відповідно до різних сфер застосування його можна розділити на керамічні мішені, пов’язані з напівпровідниками, керамічні мішені із середнім записом, керамічні мішені для відображення тощо. Мішені для напилення в основному використовуються в електронній та інформаційній галузях, наприклад у промисловості зберігання інформації.У цій галузі мішені для розпилення використовуються для виготовлення відповідних тонкоплівкових виробів (жорсткий диск, магнітна головка, оптичний диск тощо).Наразі.З безперервним розвитком інформаційної індустрії попит на керамічні мішені середнього розміру на ринку зростає.Дослідження та виробництво носіїв запису мішеней стали центром великої уваги.