Нещодавно багато друзів запитували про характеристики молібденових мішеней для розпилення.В електронній промисловості, щоб підвищити ефективність розпилення та забезпечити якість нанесених плівок, які вимоги до характеристик молібденових мішеней для розпилення?Зараз технічні експерти з RSM пояснять нам це.
1. Чистота
Висока чистота є основною характеристикою мішені для розпилення молібдену.Чим вища чистота молібденової мішені, тим краща продуктивність напиленої плівки.Як правило, чистота молібденової мішені для напилення повинна бути не менше 99,95% (масова частка така ж, як показано нижче).Однак із постійним удосконаленням розміру скляної підкладки в РК-індустрії потрібно збільшити довжину проводки, а ширину лінії — зменшити.Щоб забезпечити однорідність плівки та якість проводки, чистоту молібденової мішені для розпилення також потрібно відповідно підвищити.Тому, відповідно до розміру напиленої скляної підкладки та середовища використання, чистота молібденової мішені для напилення повинна становити 99,99% – 99,999% або навіть вище.
Молібденова мішень для розпилення використовується як джерело катода при розпиленні.Основними джерелами забруднення осаджених плівок є домішки в твердих речовинах, кисень і водяна пара в порах.Крім того, в електронній промисловості, оскільки іони лужних металів (Na, K) легко стають мобільними іонами в ізоляційному шарі, продуктивність оригінального пристрою знижується;Такі елементи, як уран (U) і титан (TI), випромінюють рентгенівське випромінювання, що призведе до м’якої поломки пристроїв;Іони заліза та нікелю призведуть до витоку межі розділу та збільшення елементів кисню.Тому в процесі підготовки молібденової мішені для розпилення ці домішки необхідно суворо контролювати, щоб мінімізувати їх вміст у мішені.
2. Зернистість і гранулометричний склад
Як правило, молібденова мішень для розпилення має полікристалічну структуру, а розмір зерна може коливатися від мікрона до міліметра.Експериментальні результати показують, що швидкість розпилення мішені з дрібним зерном є швидшою, ніж швидкість розпилення мішені з грубим зерном;Для мішені з невеликою різницею розміру зерна розподіл товщини нанесеної плівки також більш рівномірний.
3. Орієнтація кристала
Оскільки під час розпилення атоми мішені легко переважно розпорошувати вздовж напрямку найближчого розташування атомів у гексагональному напрямку, щоб досягти найвищої швидкості розпилення, швидкість розпилення часто збільшують шляхом зміни кристалічної структури мішені.Кристалічний напрямок мішені також має великий вплив на однорідність товщини напиленої плівки.Тому дуже важливо отримати певну кристалоорієнтовану структуру мішені для процесу напилення плівки.
4. Ущільнення
У процесі напилення покриття, коли розпилювана мішень з низькою щільністю бомбардується, газ, що існує у внутрішніх порах мішені, раптово виділяється, що призводить до розбризкування великих частинок мішені або частинок, або бомбардується матеріал плівки. вторинними електронами після утворення плівки, що призводить до розбризкування частинок.Поява цих частинок погіршить якість плівки.Щоб зменшити пори в цільовому твердому тілі та покращити характеристики плівки, мішень для напилення, як правило, повинна мати високу щільність.Для молібденової мішені для розпилення її відносна щільність повинна бути більше 98%.
5. Прив'язка мішені та шасі
Як правило, молібденова мішень для розпилення повинна бути з’єднана з шасі з безкисневої міді (або алюмінію та інших матеріалів) перед розпиленням, щоб теплопровідність мішені та шасі була хорошою під час процесу напилення.Після зв’язування необхідно провести ультразвуковий контроль, щоб переконатися, що площа несклеювання двох матеріалів становить менше 2%, щоб відповідати вимогам високопотужного напилення без падіння.
Час публікації: 19 липня 2022 р