Технічний консультант RSM поділиться з вами перевагами циліндричних і планарних магнетронних мішеней?У порівнянні з іншими мішенями для магнетронного розпилення циліндричні та планарні мішені для магнетронного розпилення зберігають переваги гарної рівномірності покриття прямокутних плоских мішеней і можуть максимізувати використання мішеней двома такими способами:
(1) Коли дві групи (чотири) кільцевих ямок на поверхні мішені досягають певної глибини, серцевина мішені (частина магніту) може бути повернута на 45° відносно цільової труби, щоб інші ділянки цільової труби які не піддалися корозії, можна використовувати;
(2) Якщо серцевина мішені циліндричної та планарної магнетронної мішені для розпилення розроблена як обертова серцевина мішені (ядро мішені обертається під час розпилення), поверхня мішені може бути рівномірно розпилена шар за шаром без ямок.У цей час мішень буде використовуватися найбільш ефективно, і коефіцієнт використання мішені може досягати 50% ~ 60%. Коли цільовим матеріалом є дорогоцінний метал, це, очевидно, має велике значення.
Використовуючи принцип магніту з полюсним башмаком у коаксіальній циліндричній магнетронній мішені для розпилення для вирішення проблеми кінцевого магнітного поля, прямокутна плоска мішень може бути перетворена в циліндричну та плоску магнетронну мішень для розпилення. Ціль може максимізувати коефіцієнт використання мішені. зберігаючи хорошу рівномірність покриття прямокутної цілі, щоб покращити економічні вигоди.
Час публікації: 04 липня 2022 р